COB生產流程：晶粒進料→晶粒檢測→清洗PCB→點膠→粘晶粒→烘烤→打線→過境→OTP燒錄→封膠→測試→QC抽檢→入庫。其中烘烤這一環節是很重要的一步之一，烘烤的目的是將前一道的工序中的膠烘干，使得IC在PCB上粘牢，以確保下一道工序中IC在打線過程中不會移動。不同的膠需要的烘烤時間和溫度也是不一樣的。缺氧膠烘烤溫度90度烘烤10分鐘，銀膠烘烤溫度120度烘烤90分鐘，紅膠烘烤溫度120度烘烤30分鐘。無塵烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Prebaking)、涂膠后的軟烘焙Softbaking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hardbaking)等工藝，適用半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產工藝以及研發機構。工作室采用不銹鋼鋼板。衢州內置泵體真空烘箱適用范圍

真空烘箱由高真空度真空泵，箱體，工作室，電加熱器及數字溫度器組成。能夠在設定的真空度條件下穩定工作，適用于醫藥、化工、電子、器、材料、零件的真空乾燥處理。箱體外殼以冷扎板噴塑，美觀悅目。內箱以不銹鋼板密焊耐壓工藝處理，配上門上的硅膠密封壓墊，保證箱內的氣密性，并采用玻璃纖維保溫，提供高效絕熱，節省能耗效果。發熱板安裝在內箱體四側，以保證溫度均勻性。廣用于醫藥、食品、輕工、化工、電子等行業作干燥之用，具有干燥物品速度快、污染小、不對干燥物品的內在質量造成破壞的優點。衢州真空泵抽濕真空烘箱PID調節箱門可調節式松緊閉合。

本實用新型的一種新型的真空烘箱，其創新點在于：包括箱體、蓋板、底板、側板、連接裝置、進水管、出水管和導流管；所述箱體與所述蓋板相匹配，且二者之間螺接形成一水平設置的中空長方體結構；在所述箱體的內底面還水平螺接設有底板，且在所述底板的上表面左右兩端還豎直對稱固定設有側板；在兩個所述側板之間還呈矩陣依次間隔設有數個導流管，每一所述導流管均為水平設置的中空圓柱體結構，且其兩端分別水平延伸出兩個所述側板；上下相鄰兩個所述導流管的兩端之間分別錯位通過連接裝置密封連接，并形成數個豎直設置的蜿蜒狀結構；在上面一層所述導流管的上方還水平間隔設有數個進水管，每一所述進水管均為中空的l形圓管結構，且其短邊一端均豎直向上延伸出所述蓋板，每一所述進水管的長邊一端均依次水平延伸出兩個所述側板，并分別通過連接裝置與上面一層對應位置所述導流管的一端密封連接；在下面一層所述導流管的下方還水平間隔設有數個出水管，每一所述出水管均為中空的l形圓管結構，且其短邊一端均豎直向下延伸出所述箱體，每一所述出水管的長邊一端均依次水平延伸出兩個所述側板，并分別通過連接裝置與下面一層對應位置所述導流管的一端密封連接。

真空干燥箱先抽真空再升溫加熱的原因1)工件放入真空箱里抽真空是為了抽去工件材質中可以抽去的氣體成分。如果先加熱工件，氣體遇熱就會膨脹。由于真空箱的密封性非常好，膨脹氣體所產生的巨大壓力有可能使觀察窗鋼化玻璃爆裂。這是一個潛在的危險。按先抽真空再升溫加熱的程序操作，就可以避免這種危險。2)如果按先升溫加熱再抽真空的程序操作，加熱的空氣被真空泵抽出去的時候，熱量必然會被帶到真空泵上去，從而導致真空泵溫升過高，有可能使真空泵效率下降。3)加熱后的氣體被導向真空壓力表，真空壓力表就會產生溫升。如果溫升超過了真空壓力表規定的使用溫度范圍，就可能使真空壓力表產生示值誤差。正確的使用方法應該先抽真空再升溫加熱。待達到了額定溫度后如發現真空度有所下降時再適當加抽一下。這樣做對于延長設備的使用壽命是有利的。能夠向內部充入惰性氣體，特別是一些成分復雜的物品也能進行快速干燥。

真空烘箱的真空泵-維護保養1、經常檢查油位位置，不符合規定時須調整使之符合要求。以真空泵運轉時，油位到油標中心為準。2、經常檢查油質情況，發現油變質應及時更換新油，確保真空泵工作正常。3、換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時，建議在工作100小時左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當延長換油期限。4、一般情況下，真空泵工作2000小時后應進行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內的零件，如轉子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗，并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應輕拿輕放小心碰傷。整體成型硅橡密封圈，高真空度密封。湖州內置泵體真空烘箱PID調節

鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內物體，一目了然。衢州內置泵體真空烘箱適用范圍

維護保養：13、盡量控制真空泵的流量和揚程在標牌上注明的范圍內，以保證真空泵在高效率點運轉，才能獲得大的節能效果。14、真空泵在運行過程中，軸承溫度不能超過環境溫度35C，高溫度不得超過80C。15、如發現真空泵有異常聲音應立即停車檢查原因。16、真空泵要停止使用時，先關閉閘閥、壓力表，然后停止電機。17、真空泵在工作一個月內，經100小時更換潤滑油，以后每個500小時，換油一次。18、經常調整填料壓蓋，保證填料室內的滴漏情況正常（以成滴漏出為宜）。19、定期檢查軸套的磨損情況，磨損較大后應及時更換。20、真空泵在寒冬季節使用時，停車后，需將泵體下部放水螺塞擰開將介質放凈。防止凍裂。21、真空泵長期停用，需將泵全部拆開，擦干水分，將轉動部位及結合處涂以油脂裝好，妥善保管。衢州內置泵體真空烘箱適用范圍

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